集成电路工艺课程立体化教学的探索与实践

集成电路工艺是电子科学与技术专业本科生重要的专业课程,针对课程特点,结合理论授课、TCAD工艺模拟、工艺实验验证三个方面,对构建集成电路工艺的多模式立体化教学平台进行了探索。