昭和电工强化高纯度三氯化硼产能

昭和电工近日宣布，将提高高纯度三氯化硼（BCl3）的产能。该公司决定扩建川崎事务所的设备，计划使新设备从2016年3月开始投入使用。这样，该公司高纯度BCl3的产能将达到原来的1．5倍。高纯度BCl3是在液晶面板及硅半导体制造工艺中用于蚀刻铝布线的特殊气体。