摘要
本文介绍了利用单光栅多普勒效应测量微小振动的原理和设计。利用对称入射的互相干光束照射在光栅的相同位置,通过调节使互相干光束的入射角等于光栅的一级衍射角,当光栅发生振动时,产生较高频率的光拍信号,通过对光拍信号的光电检测,能够精确地测量光栅的微小振动参数,进而测量出物体的微小的振动情况,有利应用于高精度仪器生产、材料检测、工程检测中等领域。
出处
《电子技术与软件工程》
2016年第6期118-119,共2页
ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING
基金
国家自然科学基金项目(61275214)
广东省公益研究与能力建设专项资金项目(2015A010103017
2015B0101014)
广东省教改项目(GDJG20142366)