微机械及其制造加工技术

微机械是利用半导体技术为原理在微米和纳米水平上加工研制的微小机械。具有体积小，受外界影响小的特点。能够完成传统机械无法完成的任务，且损耗非常小。作为一项适用性的技术，对越来越多的领域和学科产生了深刻的影响，在许多方面得到了广泛的应用。微机械的加工技术近几年的发展很快，微机械已经向着实用性和商品化发展。对国民经济和军事国防都产生了深远的影响。被列为21世纪关键技术之首，有巨大的发展潜力。