静电放电中电极移动速度效应对放电电流的影响性分析

在小间隙静电放电中,电极移动速度影响放电参数,引起测量结果数离散性和低重复性。我们研究团队研制的新型测试系统,可测量静电放电各参数随不同因素变化的影响。在以不同速度向靶移动放电时,放电电流峰值、电流的上升斜率以及波形都会产生明显的差异。该因素和气体压强、温度、湿度等多个因素同时作用,是导致国际电磁兼容标准迄今尚无非接触静电放电测试标准的主要原因。在实验室条件下基于研发的新型ESD测试系统,改变电极向靶移动速度,观察放电电流峰值的相应变化。研究讨论了实验测试中,改变电极移动速度,获得在一定不同带电电压下小间隙放电电流各参数的差异。对实验测量结果初步进行了理论上的分析。