摘要
纳米表面材料的研究、开发与应用是整个纳米材料研究的一个战略制高点 ,已成为纳米材料研究与应用的重点方向 ,纳米涂层设备开发 。
Research exploitation and application of nano surface material is high point of strategic in all research on nano material , had turn into emphasis aspect, exploitation equipment of nano coating ,has being good for enlarging application of nano surface material
出处
《机械》
2002年第4期69-71,共3页
Machinery
关键词
表面纳米技术
纳米涂层
射频磁控溅射法
surface nanotechnology
nano coating
Radio Frequency Magnetron Sputtering Method
