硅光栅技术

制作硅光栅的微细加工工艺可分为体硅工艺和面硅工艺,这些微细加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容,这使得制作集成式微型光谱仪成为可能。硅是一种良好的近红外材料,可以用来制作天文红外光谱仪器的浸没光机。本文重点介绍了硅光栅的制作工艺及其在不同领域中的应用。