期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

第十九讲真空溅射镀膜

下载PDF

导出

摘要（接2016年第1期第80页）b.组合磁路改进磁场结构,用组合磁场代替传统的单一磁场,其目的是更有利于放电的稳定（离化率高）和增宽靶材的刻蚀区,提高靶材的利用率。图42是传统磁控源的磁场结构原理图。为单一磁路系统,磁力线的方向都是垂直靶面的,依靠磁力线在空间弯曲,

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 2016年第2期78-80,共3页 Vacuum

关键词溅射镀膜磁场结构真空组合磁路磁路系统空间弯曲磁力线利用率

分类号 O484 [理学—固体物理] TB4 [一般工业技术]

引文网络
相关文献

1张以忱.第十九讲真空溅射镀膜[J].真空,2014,51(3):78-80.
2赵卓,周艳文,刘悦.非平衡磁控溅射二维磁场分布模拟计算[J].真空科学与技术学报,2010,30(3):265-269. 被引量：13
3李光辉,黄学功,王炅.磁流变弹性体的制备及力学性能研究[J].材料导报,2013,27(20):36-39. 被引量：5
4米积奎,李炜巍.电动振动台磁路系统和冷却系统常见问题分析[J].电讯工程,2010(1):38-40.
5傅强,彭堂超.不同衬底上ZnO薄膜的射频磁控溅射制备及结构[J].中国材料科技与设备,2009,6(4):51-52.
6江洪涛.感觉与空间弯曲概念[J].建材发展导向,2011,9(17):2-2.
7张以忱.第十九讲真空溅射镀膜[J].真空,2014,51(2):78-80. 被引量：1
8张以忱.第十九讲真空溅射镀膜[J].真空,2016,53(1):77-80.
9张以忱.真空技术及应用系列讲座第十九讲真空溅射镀膜[J].真空,2014,51(6):79-80.
10赵凤桐,吕思义,李耀萍.低噪声凸轮机构[J].吉林工学院学报（自然科学版）,1992,13(3):86-89.

真空

2016年第2期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部