光栅尺应用于活塞式气体流量标准装置及其性能试验

Grating Used in Piston Type Gas Flow Standard Device and Its Performance Test

本文主要介绍了活塞式气体流量标准装置的结构及工作原理,为了减少不同因素的影响、方便量值溯源与传递,本装置需额外配置一套光栅尺系统进行位移量修正。经重复性试验验证,影响光栅尺性能的主要因素有流量、光栅尺的安装方式、活塞与活塞缸体的加工精度及润滑条件等,最后提出建议,为今后活塞式气体流量标准装置的进一步完善提供参考。