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250全自动划片机关键技术分析与维护维修
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摘要
划片是电子器件封装工艺中重要的工艺之一,是将一整片晶圆切割成独立的个体,芯片切割的质量直接影响着封装质量和器件性能。现结合多年的划片设备管理与维修经验,对日本东京精密250全自动划片机设备的工作原理、结构、维护和维修作简单介绍。
作者
尹超
李双江
机构地区
中国电子科技集团第
出处
《机电信息》
2016年第12期112-113,共2页
关键词
全自动划片机
空气静压电主轴
维护
维修
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
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