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MEMS规模制造技术基础研究

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摘要本项目针对我国MEMS走向产业化遇到的规模制造能力薄弱的瓶颈问题，通过产学研用结合的方式，开展多物理场作用下的微机械结构应力、微机械结构特性与工艺精度的关系、多材料多物性的兼容以及工艺质量评价方法等MEMS规模制造技术基础问题的研究工作。突破涉及规模制造的一致性、

出处《中国科技成果》 2016年第7期24-24,28,共2页 China Science and Technology Achievements

基金国家重点基础研究发展计划（975）项目（2011CB309500）.

关键词制造技术 MEMS 基础研究质量评价方法工艺精度制造能力结构应力结构特性

分类号 TH-39 [机械工程]

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2016年第7期

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