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绝缘与介电材料
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摘要
Y98-61383-195 9904249声表面波用的高质量 ZnO 薄膜的外延生长和特征描述=Epitaxial growth and characterization of high qualityZnO films for surface acoustic wave applications[会,英]/
出处
《电子科技文摘》
1999年第4期6-6,共1页
Sci.& Tech.Abstract
关键词
介电材料
声表面波
高质量
外延生长
特征描述
真空绝缘
薄膜微结构
电绝缘
会议录
变压器
分类号
TN [电子电信]
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