材料制备工艺

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摘要 9904617横向固相外延生长及其影响因素的研究[刊]/罗南林 //半导体技术.—1998,23(5).—51～53(DC)9904618SiC 晶体生长和应用[刊]/邓志杰//半导体技术.—1998,23(5).—13～17(DC)

出处《电子科技文摘》 1999年第4期43-44,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词制备工艺半导体技术固相外延生长晶体生长影响因素材料应用研究进展薄膜纳米微晶

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电子科技文摘

1999年第4期

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