互连、布线、隔离与装架工艺

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摘要 Y98-61303-343 9905958Si 超大规模集成电路的光互联技术=Optical intercon-nect technologies for Si ULSI[会,英]/Miller,D.A.B.//1997 IEEE International Electron Devices Meet-ing.—343～347(AG)

出处《电子科技文摘》 1999年第5期38-39,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词超大规模集成电路装架工艺互联技术集成电路布线互连工艺浅沟道隔离铁电存储器制备工艺电极倒角

分类号 TN [电子电信]

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