通用工艺与设备

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摘要 Y98-61497-14 9909086采用条状模块冗余技术的高集成度工艺控制的优势和不足=High integrity process control using triple modularredundancy technique:advantages and limitations[会,英]/Zayegh,A.& Thomson,M.//1997 3rd Interna-

出处《电子科技文摘》 1999年第7期32-38,共7页 Sci.& Tech.Abstract

关键词工艺与设备冗余技术工艺控制工业科技高真空正压烧结炉高集成度工艺研究传感器技术机械薄膜

分类号 TN [电子电信]

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