光学测量与仪器

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摘要 9914020半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用[刊]/钱瑞海//红外与激光工程.—1999,28(2).—37～39(Y)

出处《电子科技文摘》 1999年第9期112-113,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词光学测量激光干涉仪微振动测量激光工程分析测试技术半导体仪器红外光谱辐射计动力学过程分析与排除

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电子科技文摘

1999年第9期

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