激光应用

Y99-61710 99150311998年 SPIE 会议录,卷3274:微电子和光电子制造中的激光应用3=1998 proceedings of SPIE,Vol.3274:laser applications in microelectronic and optoelectronicmanufacturingⅢ[会,英]/SPIE-the International Soci-ety for Optical Engineering.—1998.—344P.(EG)在会议录报道了在1998年1月26日至28日在美国圣何塞市召开的激光在微电子和光电子制造业中的应用研讨会上发表的37篇论文。主要涉及基础处理与激光烧蚀诊断,激光微加工新方法和新工具,激光清洗与缺陷修正,光子感应修改与刻蚀,激光样机试制及原子级工程.微加工中减少成本的有效方法,激光微机加工,激光喷射与烧蚀光刻.以及脉冲激光沉积诸方面内容。