测量技术与设备

Y98-61460-69 9915793亚微米晶体管及互连的特征测试工具=A test-vehiculefor characterization of submicron transistors and intercon—nects[会,英]/Bendhia,S.D.& Caignet,F.//1998IEEE 2nd International Caracas Conference on Devices.Circuits and Systems.—69～74(YG)介绍了为作为亚微米 MOSFET 器件特征和多层互连的演示器而设计并制造的一种特殊的集成电路,本电路由两个主要部分组成,其一用于 MOS 模型的抽取,另外一部分从动态和静态的角度处理了互连特征。参6Y98-61460-361 9915794仪表和测量(含6篇文章)=Instrumentation and mea—surernents[会,英]//1998 IEEE 2nd International Cara-cas Conference on Devices.Circuits and Systems.—361～390(YG)本部分收录6篇文章。篇名分别为:对一种用半导体有源器件实现的新的应变仪的实现研究。