热处理与表面处理工艺

介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM 分析表明,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度 Ra 从0.44μm 降低到0.003μm。