半导体与微电子技术

IEEE 第12届国际微电子机械系统会议于1999年1月17日至21日在美国佛罗里达州的奥兰多举行。本会议录收录了会上发表的论文摘要113篇,内容主要涉及激励器,AFM 和数据存储,惯性传感器,物理传感器,流体测量与控制,喷咀与流体的控制,材料与制造,聚合物微电子机械系统,3维制造,封装,键合和连接器,测量,建模和模拟,光学器件,微型反应器以及生物应用等方面。