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材料制备工艺
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摘要
本文集收录薄膜工艺与材料方面的论文5篇。内容主要涉及:非线性光学结晶 Ag(AlGa)S2在 GaAs 衬底上的外延生长,Cu<sub>2</sub>ZnSnS<sub>4</sub>系薄膜太阳能电池的开发,采用二甲硅烷的硅村底上的3C-SiC 外延生长,在Si(111)衬底上采用双阶成长法的 InSn 的生长,高取向性碳薄膜的生成及其诸特性。
出处
《电子科技文摘》
1999年第12期42-42,共1页
Sci.& Tech.Abstract
关键词
外延生长
非线性光学
薄膜太阳能电池
薄膜工艺
甲硅烷
碳薄膜
制备工艺
取向性
硅衬底
提拉装置
分类号
TN [电子电信]
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电子科技文摘
1999年 第12期
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