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摘要 0000209FEA 场发射微尖的一些氮化物薄膜[刊]/季旭东//光电子技术.—1999,19(3).—207～211(B)一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性能,适合于用作 FEA 发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与性能方面的介绍。

出处《电子科技文摘》 2000年第1期18-19,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词电子器件发射微尖过渡金属氮化物制备与性能薄膜光电子技术场发射逸出功殷钢荫罩磁偏转系统

分类号 TN [电子电信]

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