摘要
Y90-62031 00045121999年 IEEE 国际微电子测试结构会议录=1999IEEE international conference on microelectronic teststructures[会,英]/IEEE Electron Devices Society.—IEEE,1999.—232P.(AZ)本书为1999年3月15～18日在瑞典的哥德堡召开的 IEEE 国际微电子测试结构会议的论文集。共收录文章48篇,内容主要涉及微电子测试结构技术与过程表征,射频(RF)特性分析,片电阻测量。
出处
《电子科技文摘》
2000年第3期89-89,共1页
Sci.& Tech.Abstract
