摘要
Y2000-62027-179 0005509新型微型电子机械系统静电横向输出电机的性能与可靠性=Performance and reliability of a new MEMS elec-trostatic lateral ouzput motor[会,英]/Patton,S.T.&Cowan.W.D.//1999 IEEE Internarional ReliabilityPhvsics Symposium.—179～188(UC)
出处
《电子科技文摘》
2000年第4期16-16,共1页
Sci.& Tech.Abstract
