热处理与表面处理工艺

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摘要 0005844微波等离子体化学气相沉识β-C<sub>3</sub>N<sub>4</sub>超硬膜的研究[刊]/张永平//河北科技大学学报.—1999,20（4）,—1～4（A）0005845渐变滤光铬膜的遮板设计与真空镀制[刊]/李新昌//电子工业专用设备.—1999,（4）.—16～19,59（A）论述了在平面光学零件上镀制渐变滤光铬膜时,

出处《电子科技文摘》 2000年第4期42-43,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词表面处理工艺热处理微波等离子体化学气相沉积光学零件真空镀超硬膜专用设备电子工业铬膜类金刚石薄膜

分类号 TN [电子电信]

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