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绝缘与介电材料

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摘要 Y99-61799-341 0007249利用各向同性腐蚀(111)定向硅制成的微波用介质膜=Dielectric membrances manufactured by isotropic etch-

出处《电子科技文摘》 2000年第5期5-5,共1页 Sci.& Tech.Abstract

关键词介电材料各向同性腐蚀介质膜绝缘电压微波定向超净介质绝缘材料电容器利用

分类号 TN [电子电信]

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2000年第5期

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