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绝缘与介电材料
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摘要
Y99-61799-341 0007249利用各向同性腐蚀(111)定向硅制成的微波用介质膜=Dielectric membrances manufactured by isotropic etch-
出处
《电子科技文摘》
2000年第5期5-5,共1页
Sci.& Tech.Abstract
关键词
介电材料
各向同性腐蚀
介质膜
绝缘电压
微波
定向
超净介质
绝缘材料
电容器
利用
分类号
TN [电子电信]
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