元素半导体

Y99-61799-345 0007270微型光机系统用硅薄膜研究=An investigation of sill-COn thin membrances for MOMS[会,英]/Miiller,R.&Obreja,p.//Proceedings of 1998 International Semicon-ductor Conference,Vol.2.—345～348(UG)介绍了作为具有光探测器的压力传感器一部分的薄膜(小于10μm)制备的实验结果,以及其表面粗糙度研究成果。在不同温度和不同的 KOH 和 TMAH 溶液浓度情况下,实现了各向异性腐蚀。研究了作为腐蚀期间掩模材料的硅弹性体。