摘要
Y2000-62078-237 0007566由快速热处理产生的功率集成电路中深结的工业相关性=Industrial relevance of deep junctions produced byrapid thermal processing for power integrated circuits[会,英]/Dilhac,J.-M.& Cornibert,L.//1999 Inter-national Symposium on Power Semiconductor Devices andIC’s.—237~240(U)
出处
《电子科技文摘》
2000年第5期33-34,共2页
Sci.& Tech.Abstract