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材料制备工艺

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摘要 Y2000-62067-112 0009386三族氮化物在 MOVPE 系统中的生长特性=Propertiesof Group Ⅲ Nitrides grown in production type MOVPEsystems[会,英]/Protzmann,H.& Schoen,O.//1998IEEE International Conference on Optoelectronic and Mi-croelectronic Materials and Devices.—112~115(EC)
出处 《电子科技文摘》 2000年第6期34-34,共1页 Sci.& Tech.Abstract
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