半导体材料

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摘要 Y2000-62096-227 0010753静态 RAM 的制作从体硅到空间耗尽型绝缘体上硅=Converting a SRAM from bulk Si to partially depletedSOI[会,英]/Wood,M.& Smith,G.//Proceedings ofthe IEEE 1999 Custom Integrated Circuits Confer-ence.—227～230(UC)

出处《电子科技文摘》 2000年第7期5-6,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词半导体材料绝缘体上硅技术生长技术扩展电阻技术耗尽型电子技术应用半导体超晶格外延体硅会议录

分类号 TN [电子电信]

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