印制电路与集成电路

SPIE-Vol.3507 00161851998年 SPIE 会议录,卷3507:集成电路制造中的过程、设备和材料控制(4)=1998 proceedings of SPIE,Vol.3507:process,equipment,and materials control inintegrated circuit manufacturing Ⅳ[会,英]/SPIE-theInternational Society for Optical Engineering.—1998.—322P.(PC)本会议录收集了于1998年9月23～24日在美国加州圣克拉拉召开的集成电路制造中的过程、设备与材料控制专题讨论会上发表的36篇论文。内容涵盖集成电路制造中的实时与运行到运行模拟与控制,制造过程优化以及制造中使用的传感器、监视器与计量学等。