存储器、锁存器

Y2000-62135-6 0019204用于铁电存储器件的电极及互连=The electrode andinter-connection for ferroelectric memory devices[会,英]/Hidemi.T.//1999 IEEE Proceedings of Interna-tional Interconnect Technology Conference.—6～8(EC)铁电存储器是一种理想存储器,它具有非挥发性,低功耗,耐久性和高速写入等优点,而且是嵌入式系统的合适器件,但铁电薄膜具有易疲劳和工艺退化的弱点,为解决此问题,电极材料和互连工艺是相当重要的。