半导体与微电子技术

SPIE-Vol.3582 00200411998年 SPIE 会议录,卷3582:1998年国际微电子学专题讨论会=1998 proceedings of SPIE,Vol.3582:1998 international symposium on microelectronics[会,英]/SPIE-the International Society for Optical Engineer-ing.-1998.-1046P.(PC)本会议录收集了于1998年11月1～4日在美国加州圣地亚哥召开的国际微电子学专题讨论会上发表的177篇论文。涵盖了无线、印制布线、可靠性、材料、制造、集成无源元件、功率、热管理、高密度互连。