生产过程控制及其系统

0103362汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的研究[刊]/万文略//电子技术应用.—2000,26(10).—23～24(D)介绍两辊式汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的主要硬件结构、设计方法,以及多模态智能控制算法在液压伺服系统中的应用。该控制系统设计合理,运行稳定,控制精度高。参3Y2000-62443-4179 0103363半导体生产过程的过程控制的自激微传感器阵=Au-tonomous micro-sensor arrays for process control of semi-conductor manufacturing processes[会,英]/Fisher,D.＆ Freed,M.//1999 IEEE Decision and Control,Vol.4.—4179～4184(HC)本文首先研究了自激微传感器阵对半导体生产的应用,接着讨论了为实现生产微传感器阵必须研究的关键问题。然后描述了解决空间蚀刻速率和温度传感器正在开发的研究计划。