可靠性设计、试验与设备

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摘要 Y2000-62524-97 0103527表面微加工微电子机械传动装置的可靠性=Reliability of surface micromachined microelectromechanical actua-tors[会,英]/Tanner,D.M.//2000 IEEE Proceedingsof 22nd International Conference on Microelectronics,Vol.1.—97～104(EC)本文对微电子机械系统(MEMS)可靠性的探讨给予了总结,对 MEMS 传动装置的主要可靠性问题进行了分类。对与可靠性相关的静态阻力,机械磨损,断裂,疲劳,冲击及振动进行了讨论。

出处《电子科技文摘》 2001年第3期3-4,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词可靠性设计可靠性验证微电子机械系统表面微加工机械传动装置静态阻力机械磨损性问题试验设备

分类号 TN [电子电信]

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