摘要
Y2000-62524-61 0105313对微机械产品的工业需求=Industrial demands on mi-cromechanical produsts[会,英]/Detter,H.&Popovic,G.//2000 IEEE Proceedings of 22nd International Con-ference on Microelectronics,Vol.1.—61~67(EC)Y2000-62531 01053142000年 IEEE 电力工程学会冬季会议,卷1=2000IEEE power engineering society winter meeting,Vol.1of 4[会,英]/IEEE Power Engineering Society.—IEEE,2000.—795P.(EC)
出处
《电子科技文摘》
2001年第3期158-160,共3页
Sci.& Tech.Abstract