电子学与电子工程

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摘要 SPIE-Vol.3680 01054051999年 SPIE 会议录,卷3680:微电机械系统与微光机械系统设计、测试与微制造=1999 proceedings ofSPIE.Vol.3680:design,test,and microfabrication ofMEMS and MOEMS[会,英]/SPIE-The InTernationalSociety for Optical Engineering.—1999.—1192P.(PC)

出处《电子科技文摘》 2001年第4期1-1,共1页 Sci.& Tech.Abstract

关键词微电机械系统微制造机械系统设计会议录微机械加工测试微光电子工程微机电系统电子学

分类号 TN [电子电信]

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