摘要
Y2000-62523 01057162000年 IEEE 国际微电子测试结构会议录=2000IEEE international conference on microelectronic teststructures[会,英]/IEEE Electron Devices Society.—IEEE.2000.—251P.(PC)本次会议由 IEEE 电子器件学会主办,于2000年3月13～16日在加州蒙特里召开。该会议录共收录44篇论文。内容涵盖临界尺寸方法,器件特征。
出处
《电子科技文摘》
2001年第4期28-30,共3页
Sci.& Tech.Abstract
