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热处理与表面处理工艺
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摘要
0105860碳纳米管在金刚石薄膜化学沉积上的应用[刊]/田乃良//光电子·激光.—2000,11(6).—587~589(C)碳纳米管的端头部位,具有一定的金刚石结构。用于金刚石薄膜气相化学沉积,作为籽晶,可使薄膜沉积的速度加快,结晶的定向性强,生长的温度低等优点。本文探讨了碳纳米管的结构,初步研究了其在金刚石薄膜气相化学沉积上的应用,得到了较好的〈100〉方向结晶的薄膜。
出处
《电子科技文摘》
2001年第4期41-42,共2页
Sci.& Tech.Abstract
关键词
金刚石薄膜
碳纳米管
化学沉积
热处理
等离子体
金刚石结构
基因芯片
薄膜沉积
表面处理工艺
光电子
分类号
TN [电子电信]
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