摘要
0106383ESEM 的特点及其 X 射线分析[刊]/朱武//真空电子技术.—2000,(6).—21～23,29(C)环境扫描电子显微镜(ESEM)保留了传统扫描电子显微镜的全部优点,但取消了样品环境必须是高真空的限制。在气体压力高达6600Pa,温度高达1500℃,具有任何气体种类的多气环境里,ESEM 都可提供高分辨率的二次电子成像。本文介绍了 ESEM的特点、应用领域及 X 射线分析的有关问题。
出处
《电子科技文摘》
2001年第4期86-86,共1页
Sci.& Tech.Abstract
