摘要
Y2000-62524-239 0107442Si/Si 及 Ge<sub>x</sub>Si<sub>1-x</sub>/Si 超晶格自组织生长=Self-organizedgrowth of Si/Si and Ge<sub>x</sub>Si<sub>1-x</sub>/Si superlattices[会,英]/Klimovskaya,A.& Ostrovskii,I.//2000 IEEE Pro-ceedings of 22nd International Conference on Microelec-tronics,Vol.1.—239～241（EC）Z-51419 0107443第十一届全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议论文集[会]/中国电子学会半导体与集成技术、电子材料学分会.—2000.11.—54页（C）本会议录从材料生长与测试。
出处
《电子科技文摘》
2001年第5期5-6,共2页
Sci.& Tech.Abstract
