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半导体与微电子技术

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摘要 0114818基因芯片中点阵的微电子加工技术(刊]/余志文//微电子学.—2001,31(2).—100～102(D)0114819现代科学的奇迹——半导体技术[刊]/周如培//微电子学.—2001,31(2).—77～82(D)

出处《电子科技文摘》 2001年第9期16-16,共1页 Sci.& Tech.Abstract

关键词微电子技术半导体技术微电子学基因芯片半导体材料加工技术现代科学点阵回顾奇迹

分类号 TN [电子电信]

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2001年第9期

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