摘要
SPIE-Vol.3777 01165331999年SPIE会议录,Vol.3777:带电粒子光学,4=1999 proceedings of SPIE,Vol.3777:charged particleoptics Ⅳ[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—1999.—276P.(EC)本会议录收集了于1999年7月22~23日在科罗拉多州Denver召开的带电粒子光学会议上发表的26篇论文,内容涉及电子束光刻,场准确度与分辨率评价,电子源与电子辐射,象差分析与优化,成象,离子光学,空间电荷与离散库仑互作用,能量滤波器,分析器与曲线轴系统。0116534采用光折变全息干涉计量术对光楔特性的测量[刊]/范云正//半导体光电.—2001,22(1).—69~72(C)光折变晶体是一种新型的记录材料,应用光折变效应,不需显影、定影等处理,就可实现实时观测。
出处
《电子科技文摘》
2001年第10期21-22,共2页
Sci.& Tech.Abstract