热处理与表面处理工艺

0120704电弧离子镀中不同偏压模式对 TiN 薄膜形貌的影响[刊]/黄美东//真空.—2001,(3).—36～38(L)用扫描电子显微镜观察了电弧离子镀中各种不同偏压模式:不加偏压、加不同直流偏压和加幅值相同但占空比不同的脉冲偏压情况下获得的 TiN 薄膜的表面形貌。结果表明。脉冲偏压可以大大减小膜表面的大颗粒尺寸和数量,显著改善表面形貌。