摘要
SPIE-Vol.3880 0200078SPIE 会议录,卷3880:重要空间应用中的微电子机械系统的可靠性=Proceedings of SPIE Vol.3880:MEMSreliability for critical and space applications[会,英]/SPIE-the International Society for Optical Engineer-ing.—176P.(EC)本会议录收集了在加州 Santa Clara 召开的空间应用中的 MEMS 系统可靠性会议上发表的20篇论文,
出处
《电子科技文摘》
2002年第1期9-9,共1页
Sci.& Tech.Abstract
