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材料制备工艺

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摘要 Y2002-63084-341 0212820硅与镀掺杂 MBE 生长 GaAs 中的补偿=Compensationin MBE-grown GaAs doped with silicon and

出处《电子科技文摘》 2002年第7期33-34,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词材料制备工艺测试软件垂直梯度凝固法淬火介质磨料水射流光整加工抛光片分子束外延生长热浸镀铝贴装

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子科技文摘

2002年第7期

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