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摘要 Y2002-63084-313 0213687具有沉积刚性电极的闭环微 G 硅加速度计的性能局限性=Performance limits of a closed-loop micro-G siliconaccelerometer with deposited rigid electrodes[会,英]/Yazdi,N.& Najafi,K.//ICM 2000 Proceedings of theTwelfth International Conference on Mieroelectronies.—313～316(PE)

出处《电子科技文摘》 2002年第7期98-100,共3页 Sci.& Tech.Abstract

关键词 RIGID 机器人运动控制 limits 温度漂移 PROCEEDINGS 自补偿火焰图像移动机器人仪器仪表学报多传感器融合

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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