摘要
Y2002-63234-225 0300097半导体制造中缓冲氢氟酸的资源保存=Resource con-servation of buffered HF in semiconductor manufacturing〔会,英〕/Inagaki,Y.& Shimizu,M.//2001 IEEE In-temational Symposium on Semiconductor Manufactur-ing.—225～228(E)
出处
《电子科技文摘》
2003年第1期7-7,共1页
Sci.& Tech.Abstract
