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摘要 Y2002-63234-275 0300334提高大规模集成电路成品率故障分布特征算法=CharacteriFation algorithm of failure djstribution for LSIyield improvement[会,英]/Sugimoto,M.& Tanaka,M.//2001 IEEE Intemational Symposium on Semicon-ductor Manufacturing.—275~278(E)
出处 《电子科技文摘》 2003年第1期23-24,共2页 Sci.& Tech.Abstract
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