摘要
Y2002-63234-275 0300334提高大规模集成电路成品率故障分布特征算法=CharacteriFation algorithm of failure djstribution for LSIyield improvement[会,英]/Sugimoto,M.& Tanaka,M.//2001 IEEE Intemational Symposium on Semicon-ductor Manufacturing.—275~278(E)
出处
《电子科技文摘》
2003年第1期23-24,共2页
Sci.& Tech.Abstract