摘要
0309383发光屏动态测试系统的研制[刊]/蒋泉//真空科学与技术学报.—2002,22(增刊).—71～72(L)0309384ITO 靶材在溅射过程中结瘤行为的研究[刊]/姚吉升//真空科学与技术学报.—2002,22(增刊).—47～50(L)本文报导了 ITO 靶材溅射时,靶材表面的时效变化和靶材表面结瘤物的组成及其微结构;探讨了结瘤物生成的原因和减缓瘤子生成的方法,对改善 ITO 膜质有较好的参考价值。
出处
《电子科技文摘》
2003年第5期17-17,共1页
Sci.& Tech.Abstract
